液体研磨

EMラッピングマシン、ポリッシングマシン、ガラス研磨（酸化セリウム循環・スプレー・廃液移送）
シリコンウエハー研磨装置（供給・循環・廃液移送）、シリコンウエハー切断装置　など。

竪型スラリーポンプ
（LR）

自吸式ろ過機 ケミファイン用
吸い切りノズル「ゾウの鼻」
（EN）

自吸式ろ過機 ケミファイン用
スラリー回収 ダブルサイクロン
（DC）